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ローディング効果とマイクロローディング効果

ローディング効果とマイクロローディング効果についてです。
まず、ローディング効果はエッチング面のパターンが大きくなることにによりエッチング速度が低下する現象です。
エッチング対象が増えるため、エッチャントの量が足らない供給律速になるためだと思われます。

マイクロローディング効果は、エッチング対象のパターンが微細化することによりエッチャントがパターンに入っていかなくなり結果としてエッチャントの供給律速になります。これにより図のようにパターンのサイズによりエッチング速度の差が生まれ形状に差が生まれます。

NIKE
似た名前の現象ですがパターンが大きすぎても小さすぎてもエッチング速度が低下するということです。

written by gatamix

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